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一种制作亚微米线条的有效方法
本文介绍利用普通接触式曝光系统和等离子刻蚀机来制作亚微米线条。基本工艺是用深紫外线作为光源,对曝光后的光刻胶在HMDS或TMDS气氛下加热......
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